Comparaison des procédés d'ablation par faisceau laser et par faisceau d'électrons pour la croissance de couches minces
Les méthodes de croissance de couches minces dites pulsées présentent certaines spécificités, notamment la présence d'espèces très énergétiques venant se déposer à la surface du substrat. L'ablation laser (PLD) est à ce jour la technique pulsée la plus connue et permet de former des couche...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
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| Médium: | Thèse numérique |
| Jazyk: | Français |
| Vydáno: |
Villeurbanne :
[CCSD]
2008.
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| Témata: | |
| On-line přístup: | Accès au texte intégral Accès Université d'Orléans |
| Poznámka: |
Description d'après la consultation, 2018-04-26 Titre provenant de l'écran titre Cette édition peut différer de la version de soutenance enregistrée sous le Numéro National de Thèse : 2008ORLE2023 Thèses CCSD |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Variante du titre: | Comparison between pulsed laser deposition and pulsed electron beam deposition for thin film growth |
| Edition sous un autre format: | • Comparaison des procédés d'ablation par faisceau laser et par faisceau d'électrons pour la croissance de couches minces, par Sylvain Tricot, [S.l.], [s.n.], 2008, 1 vol. (154 p.) |