Comparaison des procédés d'ablation par faisceau laser et par faisceau d'électrons pour la croissance de couches minces

Les méthodes de croissance de couches minces dites pulsées présentent certaines spécificités, notamment la présence d'espèces très énergétiques venant se déposer à la surface du substrat. L'ablation laser (PLD) est à ce jour la technique pulsée la plus connue et permet de former des couche...

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Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter: Tricot, Sylvain, 1981-
Andre forfattere: Boulmer-leborgne, Chantal (Directeur de thèse), Perrière, Jacques (Directeur de thèse)
Format: Thèse et Mémoire papier
Sprog:Français
Udgivet: [S.l.] : [s.n.] 2008.
Fag:
Autres localisations: Voir dans le Sudoc
Variante du titre:Comparison between pulsed laser deposition and pulsed electron beam deposition for thin film growth
Edition sous un autre format:• Comparaison des procédés d'ablation par faisceau laser et par faisceau d'électrons pour la croissance de couches minces, par Sylvain Tricot, Villeurbanne, [CCSD], 2008

Orléans - BU Sciences Technologies STAPS

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