Etude des précurseurs gazeux de couches minces en carbone déposées à partir de phases gazeuses activées thermiquement et par plasma
L'optimisation des procédés CVD et CVI, en vue d'accroître la vitesse de dépôt et d'améliorer leur qualité, nécessite une bonne connaissance de la nature et de la concentration des espèces présentes en phase gazeuse. Deux types de dépôts de carbone ont été considérés : les films diama...
Enregistré dans:
| Hovedforfatter: | |
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| Format: | Thèse numérique |
| Sprog: | Français |
| Udgivet: |
Villeurbanne :
[CCSD]
2006.
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| Fag: | |
| Online adgang: | Accès au texte intégral Accès Université d'Orléans |
| Kommentar: |
Description d'après la consultation, 2018-04-26 Titre provenant de l'écran titre Cette édition peut différer de la version de soutenance enregistrée sous le Numéro National de Thèse : 2002ORLE2009 Thèses CCSD |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Variante du titre: | Gaseous precursors of carbon thin films deposited from thermal or plasma activated gas phase |
| Edition sous un autre format: | • Etude des précurseurs gazeux de couches minces en carbone déposées à partir de phases gazeuses activées thermiquement et par plasma, par Olivier Aubry, [S.l.], [s.n.], 2002, 280 p. |