Materials Fundamentals of Gate Dielectrics
This book presents materials fundamentals of novel gate dielectrics that are being introduced into semiconductor manufacturing to ensure the continuous scalling of the CMOS devices. This is a very fast evolving field of research so we choose to focus on the basic understanding of the structure, ther...
Gardado en:
| Outros autores: | , |
|---|---|
| Formato: | Livre numérique |
| Idioma: | Anglais |
| Publicado: |
Dordrecht :
Springer Netherlands : Springer e-books
[20..].
Cham : Springer Nature |
| Acceso en liña: | Accès sur la plateforme de l'éditeur Accès sur la plateforme Istex Accès Université d'Orléans Accès INSA CVL |
| Nota: |
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| Edition sous un autre format: | • Materials Fundamentals of Gate Dielectrics, Texte imprimé, 9781402030772 |