High permittivity gate dielectric materials
"The book comprehensively covers all the current and the emerging areas of the physics and the technology of high permittivity gate dielectric materials, including, topics such as MOSFET basics and characteristics, hafnium-based gate dielectric materials, Hf-based gate dielectric processing, me...
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| Autres auteurs: | |
|---|---|
| Format: | Livre numérique |
| Langue: | Anglais |
| Publié: |
Berlin, Heidelberg :
Springer Berlin Heidelberg
[20..].
Cham : Springer Nature |
| Édition: | 1st ed. 2013. |
| Collection: | Springer Series in Advanced Microelectronics
43 |
| Accès en ligne: | Accès sur la plateforme de l'éditeur Accès sur la plateforme Istex Accès Université d'Orléans Accès INSA CVL |
| Note: |
Archives Springer e-books (Licence nationale) Archives Springer e-books (Licence nationale) |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Edition sous un autre format: | • High Permittivity Gate Dielectric Materials, Texte imprimé, 9783642365348 • High Permittivity Gate Dielectric Materials, Texte imprimé, 9783642365362 • High Permittivity Gate Dielectric Materials, Texte imprimé, 9783662501382 |