Materials Fundamentals of Gate Dielectrics

This book presents materials fundamentals of novel gate dielectrics that are being introduced into semiconductor manufacturing to ensure the continuous scalling of the CMOS devices. This is a very fast evolving field of research so we choose to focus on the basic understanding of the structure, ther...

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מחברים אחרים: Demkov, Alexander A., 19..-...., physicien (Directeur de la publication), Navrotsky, Alexandra, chimiste (Directeur de la publication)
פורמט: Livre numérique
שפה:Anglais
יצא לאור: Dordrecht : Springer Netherlands : Springer e-books [20..].
Cham : Springer Nature
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Edition sous un autre format:• Materials Fundamentals of Gate Dielectrics, Texte imprimé, 9781402030772

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