Fundamental Aspects of Ultrathin Dielectrics on Si-based Devices

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Autres auteurs: Vul', Alexander (Collaborateur), Garfunkel, Eric L. (Collaborateur), Gusev, Evgeni P. (Collaborateur)
Format: Livre numérique
Langue:Anglais
Publié: Cham : Springer International Publishing [20..].
Cham : Springer Nature
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Edition sous un autre format:• Fundamental aspects of ultrathin dielectrics on Si-based devices, edited by Eric Garfunkel, Evgeni Gusev, and Alexander Vul', Dordrecht, Kluwer Academic Publishers, 1998, 1 volume (X-507 p.), NATO science series, 0-7923-5007-3

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