Développement et caractérisation de micro réacteurs plasma à base de silicium élaborés par micro-nanotechnologies
Cette thèse a pour objectifs de développer des microréacteurs plasma élaborés sur support en silicium et d étudier les phénomènes physiques apparaissant lors de leur fonctionnement en courant continu (DC). Les dispositifs ont été réalisés en salle blanche à l aide des technologies de micro et nano f...
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| Format: | Thèse numérique |
| Langue: | Français |
| Publié: |
2019.
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| Sujets: | |
| Accès en ligne: | Accès au texte intégral https://theses.univ-orleans.fr/public/2019ORLE3042_va.pdf http://www.theses.fr/2019ORLE3042/abes https://theses.hal.science/tel-02425278 |
| Note: |
Titre provenant de l'écran-titre Ecole(s) Doctorale(s) : École doctorale Énergie, Matériaux, Sciences de la Terre et de l'Univers (Centre-Val de Loire ; 2012-....) Partenaire(s) de recherche : Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés. UMR 7344 (Orléans ; 2012-....) (Laboratoire) Autre(s) contribution(s) : Virginie Hoel (Président du jury) ; Rémi Dussart, Olivier Aubry, Virginie Hoel, Thierry Callegari, Michaël Tatoulian, Arnaud Stolz (Membre(s) du jury) ; Thierry Callegari, Michaël Tatoulian (Rapporteur(s)) |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Variante du titre: | Development and characterization of silicon-based plasma micro reactors elaborated by micro-nanotechnologies |