מלאי ספרים: Techniques de fabrication des microsystèmes.

שמור ב:

מידע ביבליוגרפי
מחברים אחרים:	Labachelerie, Michel de, 1959- (Directeur de la publication)
פורמט:	Livre papier
שפה:	Français
יצא לאור:	Paris : Hermes science publ. : Lavoisier DL 2004.
סדרה:	Traité EGEM : électronique - génie électrique - microsystèmes. Microsystèmes
נושאים:	Micro-fabrication Dispositifs à couches minces Microtechniques Systèmes microélectromécaniques Microélectronique > Industrie et commerce Procédés de fabrication Silicium > Couches minces Micromécanique (ingénierie)
Autres localisations:	Voir dans le Sudoc
Variante du titre:	Structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces
Edition sous un autre format:	• Techniques de fabrication des microsystèmes, 1, Structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces, Ressource électronique, sous la direction de Michel de Labachelerie, Paris, Hermes science, Lavoisier, [2011?]

	מקום	סימן המיקום	Type de prêt	סטטוס
	Electricité	621.3 ELE	Empruntable	זמין