Techniques de fabrication des microsystèmes. 1, Structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces
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| Autres auteurs: | |
|---|---|
| Format: | Livre papier |
| Langue: | Français |
| Publié: |
Paris :
Hermes science publ. : Lavoisier
DL 2004.
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| Collection: | Traité EGEM : électronique - génie électrique - microsystèmes. Microsystèmes
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| Sujets: | |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Variante du titre: | Structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces |
| Edition sous un autre format: | • Techniques de fabrication des microsystèmes, 1, Structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces, Ressource électronique, sous la direction de Michel de Labachelerie, Paris, Hermes science, Lavoisier, [2011?] |