Techniques de fabrication des microsystèmes. Structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces

Techniques de fabrication des microsystèmes. 1, Structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces

Guardat en:
Dades bibliogràfiques
Altres autors: Labachelerie, Michel de, 1959- (Director editorial)
Format: Livre papier
Idioma:Français
Publicat: Paris : Hermes science publ. : Lavoisier DL 2004.
Col·lecció:Traité EGEM : électronique - génie électrique - microsystèmes. Microsystèmes
Matèries:
Micro-fabrication
Dispositifs à couches minces
Microtechniques
Systèmes microélectromécaniques
Microélectronique > Industrie et commerce
Procédés de fabrication
Silicium > Couches minces
Micromécanique (ingénierie)
Autres localisations: Voir dans le Sudoc
Variante du titre:Structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces
Edition sous un autre format:• Techniques de fabrication des microsystèmes, 1, Structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces, Ressource électronique, sous la direction de Michel de Labachelerie, Paris, Hermes science, Lavoisier, [2011?]
Descripció
Descripció física:1 vol. (327-IV p.) : ill. ; 25 cm.
Bibliografia:Bibliogr. en fin de chapitres. Index
ISBN:2746208172 (rel.) :

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