Comparaison des procédés d'ablation par faisceau laser et par faisceau d'électrons pour la croissance de couches minces :: SCD d'Orléans

Comparaison des procédés d'ablation par faisceau laser et par faisceau d'électrons pour la croissance de couches minces

Comparaison des procédés d'ablation par faisceau laser et par faisceau d'électrons pour la croissance de couches minces

Les méthodes de croissance de couches minces dites pulsées présentent certaines spécificités, notamment la présence d'espèces très énergétiques venant se déposer à la surface du substrat. L'ablation laser (PLD) est à ce jour la technique pulsée la plus connue et permet de former des couche...

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Библиографические подробности
Главный автор:	Tricot, Sylvain, 1981-
Другие авторы:	Boulmer-leborgne, Chantal (Научный руководитель), Perrière, Jacques (Научный руководитель)
Формат:	Thèse et Mémoire papier
Язык:	Français
Опубликовано:	[S.l.] : [s.n.] 2008.
Предметы:	Ablation laser (fabrication) Faisceaux laser Faisceaux électroniques Couches minces Thèses et écrits académiques
Autres localisations:	Voir dans le Sudoc
Variante du titre:	Comparison between pulsed laser deposition and pulsed electron beam deposition for thin film growth
Edition sous un autre format:	• Comparaison des procédés d'ablation par faisceau laser et par faisceau d'électrons pour la croissance de couches minces, par Sylvain Tricot, Villeurbanne, [CCSD], 2008

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