Etude des précurseurs gazeux de couches minces en carbone déposées à partir de phases gazeuses activées thermiquement et par plasma
L'optimisation des procédés CVD et CVI, en vue d'accroître la vitesse de dépôt et d'améliorer leur qualité, nécessite une bonne connaissance de la nature et de la concentration des espèces présentes en phase gazeuse. Deux types de dépôts de carbone ont été considérés : les films diama...
Shranjeno v:
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| Format: | Thèse et Mémoire papier |
| Jezik: | Français |
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[S.l.] :
[s.n.]
2002.
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| Teme: | |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Variante du titre: | Gaseous precursors of carbon thin films deposited from thermal or plasma activated gas phase |
| Edition sous un autre format: | • Etude des précurseurs gazeux de couches minces en carbone déposées à partir de phases gazeuses activées thermiquement et par plasma, par Olivier Aubry, 2006, Villeurbanne, [CCSD] |