Etude des précurseurs gazeux de couches minces en carbone déposées à partir de phases gazeuses activées thermiquement et par plasma
L'optimisation des procédés CVD et CVI, en vue d'accroître la vitesse de dépôt et d'améliorer leur qualité, nécessite une bonne connaissance de la nature et de la concentration des espèces présentes en phase gazeuse. Deux types de dépôts de carbone ont été considérés : les films diama...
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| Autore principale: | |
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| Altri autori: | |
| Natura: | Thèse et Mémoire papier |
| Lingua: | Français |
| Pubblicazione: |
[S.l.] :
[s.n.]
2002.
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| Soggetti: | |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Variante du titre: | Gaseous precursors of carbon thin films deposited from thermal or plasma activated gas phase |
| Edition sous un autre format: | • Etude des précurseurs gazeux de couches minces en carbone déposées à partir de phases gazeuses activées thermiquement et par plasma, par Olivier Aubry, 2006, Villeurbanne, [CCSD] |
| LEADER | 02773nam a22003257a 4500 | ||
|---|---|---|---|
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| 041 | 0 | |a fre |b fre |b eng | |
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| 084 | |a 540 | ||
| 100 | 1 | |a Aubry, Olivier, |d 1975- | |
| 240 | 1 | 0 | |a Gaseous precursors of carbon thin films deposited from thermal or plasma activated gas phase |
| 245 | 1 | 0 | |a Etude des précurseurs gazeux de couches minces en carbone déposées à partir de phases gazeuses activées thermiquement et par plasma |c par Olivier Aubry ; [sous la dir. de] C. Vovelle,... |
| 260 | |a [S.l.] : |b [s.n.], |c 2002. | ||
| 300 | |a 280 p. : |b graph. ; |c 30 cm. | ||
| 502 | |a Thèse de doctorat. Chimie - Physique. Cinétique chimique appliquée. Orléans. 2002 | ||
| 504 | |a Bibliogr. p. 257-265 | ||
| 506 | |a Publication autorisée par le jury | ||
| 520 | |a L'optimisation des procédés CVD et CVI, en vue d'accroître la vitesse de dépôt et d'améliorer leur qualité, nécessite une bonne connaissance de la nature et de la concentration des espèces présentes en phase gazeuse. Deux types de dépôts de carbone ont été considérés : les films diamant obtenus à partir de phases gazeuses activées par plasma micro-onde et les pyrocarbones (laminaires lisses et rugueux) issus de la pyrolyse du propane. La spectrométrie de masse avec prélèvement par faisceau moléculaire a été utilisée pour l'analyse des espèces présentes : atomes, radicaux et molécules. L’influence de la composition du mélange réactif (en PACVD), du débit total et de la présence de surfaces solides ou poreuses sur les espèces gazeuses a été particulièrement étudiée pour identifier les précurseurs des films diamant et des pyrocarbones. | ||
| 650 | |a Diamant |x Couches minces | ||
| 650 | |a Carbone |x Couches minces | ||
| 650 | |a Spectrométrie de masse | ||
| 650 | |a Faisceaux moléculaires | ||
| 650 | |a Thèses et écrits académiques | ||
| 700 | 1 | |a Vovelle, Christian. |4 ths | |
| 710 | 2 | |a Université d'Orléans. |4 dgg | |
| 776 | 0 | |0 226365166 |t Etude des précurseurs gazeux de couches minces en carbone déposées à partir de phases gazeuses activées thermiquement et par plasma |f par Olivier Aubry |d 2006 |c Villeurbanne |n [CCSD] | |
| 787 | 0 | 8 | |i Reproduced as: |0 246656115 |t Etude des précurseurs gazeux de couches minces en carbone déposées à partir de phases gazeuses activées thermiquement et par plasma |f par Olivier Aubry |d 2002 |c Grenoble |n Atelier national de reproduction des thèses |p Microfiches |s [Grenoble thèses] |
| 997 | |0 193162 |1 Thèse et Mémoire papier |a Ressource papier |c 0/Orléans/ |c 1/Orléans/BU Sciences, Technologies, STAPS/ |z Orléans, BU Sciences, Technologies, STAPS, TS 19-2002-9 |z Orléans, BU Sciences, Technologies, STAPS, TS 19-2002-9 b | ||