Study of cryoetching plasma processes using fluorocarbon gases
Cette thèse a été réalisée au GREMI dans le cadre du projet ANR PSICRYO, en collaboration avec le laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM) et l'institut des matériaux de Nantes Jean Rouxel (IMN). Le but de ce projet de recherche était d'étudier l'interaction plasma-s...
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| Autres auteurs: | , , , , , , , |
| Format: | Thèse numérique |
| Langue: | Anglais |
| Publié: |
2025.
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| Sujets: | |
| Accès en ligne: | Accès au texte intégral https://theses.univ-orleans.fr/public/2025ORLE1062_va.pdf https://theses.fr/2025ORLE1062/abes https://theses.hal.science/tel-05570325 |
| Note: |
Titre provenant de l'écran-titre Ecole(s) Doctorale(s) : École doctorale Énergie, Matériaux, Sciences de la Terre et de l'Univers (Centre-Val de Loire ; 2012-....) Partenaire(s) de recherche : Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés. UMR 7344 (Orléans ; 2012-....) (Laboratoire) Autre(s) contribution(s) : Christophe Cardinaud (Président du jury) ; Aurélie Girard, Emilie Despiau-Pujo, Jean Francois De Marneffe (Membre(s) du jury) ; David Eon, Jean-Paul Booth (Rapporteur(s)) |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Variante du titre: | Etude de procédés de cryogravure à base de gaz fluorocarbonés |