Croissance de couches minces par ablation laser en atmosphère réactive
Ce travail est consacré à la croissance de films minces de nitrures d'aluminium par ablation laser réactive. Cette méthode, largement utilisée pour la croissance de couches minces d'oxydes, présente des difficultés pour la formation d'autres composés tels que les nitrures. La réactivi...
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| 1. Verfasser: | |
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| Weitere Verfasser: | , |
| Format: | Thèse et Mémoire papier |
| Sprache: | Français |
| Veröffentlicht: |
[S.l.] :
[s.n.]
2000.
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| Schlagworte: | |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
Orléans - BU Sciences Technologies STAPS
| Standort | Signatur | Type de prêt | Status | |
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| Magasin | TS 19-2000-26b |
A consulter sur place
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| Magasin | TS 19-2000-26 | Verfügbar |