ETUDE DES CAVITES ET DES DISLOCATIONS CREEES PAR IMPLANTATION D'HELIUM A HAUTE ENERGIE DANS LE SILICIUM : INTERET POUR LE PIEGEAGE D'IMPURETES METALLIQUES
FACE A LA MINIATURISATION CONSTANTE DES COMPOSANTS ELECTRONIQUES, LES PROBLEMES DE CONTAMINATIONS EN IMPURETES METALLIQUES FONT L'OBJET D'UNE ATTENTION PARTICULIERE. L'INTERET CROISSANT DES IMPLANTATIONS D'HELIUM A HAUTE ENERGIE (DE L'ORDRE DU MEV) COMME PROCEDURE DE GETTERI...
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| Format: | Thèse et Mémoire papier |
| Język: | Français |
| Wydane: |
[S.l.] :
[s.n.]
1999.
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1999ORLE2041 |
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