ETUDE DES CAVITES ET DES DISLOCATIONS CREEES PAR IMPLANTATION D'HELIUM A HAUTE ENERGIE DANS LE SILICIUM : INTERET POUR LE PIEGEAGE D'IMPURETES METALLIQUES
FACE A LA MINIATURISATION CONSTANTE DES COMPOSANTS ELECTRONIQUES, LES PROBLEMES DE CONTAMINATIONS EN IMPURETES METALLIQUES FONT L'OBJET D'UNE ATTENTION PARTICULIERE. L'INTERET CROISSANT DES IMPLANTATIONS D'HELIUM A HAUTE ENERGIE (DE L'ORDRE DU MEV) COMME PROCEDURE DE GETTERI...
Guardado en:
| Autor principal: | |
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| Otros Autores: | |
| Formato: | Thèse et Mémoire papier |
| Lenguaje: | Français |
| Publicado: |
[S.l.] :
[s.n.]
1999.
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| Materias: | |
| Nota: |
1999ORLE2041 |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
Orléans - BU Sciences Technologies STAPS
| Localización | Número de Clasificación | Type de prêt | Estado | |
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| Magasin | TS 19-1999-41 b |
A consulter sur place
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| Magasin | TS 19-1999-41 | Disponible |