APPORT DES METHODES NUCLEAIRES D'ANALYSE DANS LE DOSAGE D'IMPURETES LEGERES (C,O) A L'ETAT DE TRACE DANS LE SILICIUM MASSIF ET EPITAXIE
L'OBJECTIF DE CE TRAVAIL EST D'APPORTER UNE CONTRIBUTION A L'ETUDE DU COMPORTEMENT DES IMPURETES LEGERES (C,O) DANS LE SILICIUM MASSIF ET EPITAXIE. L'ANALYSE PAR ACTIVATION (CPAA) A PERMIS D'ELABORER DES PROFILS DE CONCENTRATION DANS DES ECHANTILLONS DE SILICIUM CZ ET EPITAX...
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| מחבר ראשי: | |
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| מחברים אחרים: | |
| פורמט: | Thèse et Mémoire papier |
| שפה: | Français |
| יצא לאור: |
[S.l.] :
[s.n.]
1997.
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| נושאים: | |
| הערה: |
1997ORLE2033 |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Variante du titre: | CONTRIBUTION OF NUCLEAR METHODS FOR ANALYSIS OF LIGHT IMPURITIES (C,O) PRESENT IN LOW CONCENTRATIONS IN CZ AND EPITAXIAL SILICON |