APPORT DES METHODES NUCLEAIRES D'ANALYSE DANS LE DOSAGE D'IMPURETES LEGERES (C,O) A L'ETAT DE TRACE DANS LE SILICIUM MASSIF ET EPITAXIE
L'OBJECTIF DE CE TRAVAIL EST D'APPORTER UNE CONTRIBUTION A L'ETUDE DU COMPORTEMENT DES IMPURETES LEGERES (C,O) DANS LE SILICIUM MASSIF ET EPITAXIE. L'ANALYSE PAR ACTIVATION (CPAA) A PERMIS D'ELABORER DES PROFILS DE CONCENTRATION DANS DES ECHANTILLONS DE SILICIUM CZ ET EPITAX...
Enregistré dans:
| Auteur principal: | |
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| Autres auteurs: | |
| Format: | Thèse et Mémoire papier |
| Langue: | Français |
| Publié: |
[S.l.] :
[s.n.]
1997.
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| Sujets: | |
| Note: |
1997ORLE2033 |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Variante du titre: | CONTRIBUTION OF NUCLEAR METHODS FOR ANALYSIS OF LIGHT IMPURITIES (C,O) PRESENT IN LOW CONCENTRATIONS IN CZ AND EPITAXIAL SILICON |
Orléans - BU Sciences Technologies STAPS
| Localisation | Cote | Type de prêt | Statut | |
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| Magasin | TS 19-1997-33b |
A consulter sur place
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| Magasin | TS 19-1997-33 | Disponible |