Diagnostics et modélisation d'un plasma d'argon-hydrogène créé par décharge H.F. inductive utilisée pour la gravure de silicium :: SCD d'Orléans

Diagnostics et modélisation d'un plasma d'argon-hydrogène créé par décharge H.F. inductive utilisée pour la gravure de silicium

Diagnostics et modélisation d'un plasma d'argon-hydrogène créé par décharge H.F. inductive utilisée pour la gravure de silicium

MODELE THEORIQUE DE LA DECHARGE BASE SUR UNE FONCTION DE DISTRIBUTION DES ELECTRONS A DEUX COMPOSANTES: UNE PREMIERE PARTIE MAXWELLIENNE POUR TOUS LES PHENOMENES FAISANT INTERVENIR LES ELECTRONS APPARTENANT A LA GAMME D'ENERGIE SITUES AUX ENVIRONS DE 1 EV ET UNE DEUXIEME PARTIE COMPOSEE D'...

Kaydedildi:

Detaylı Bibliyografya
Yazar:	Salah, Djamal, auteur d'une thèse de sciences
Materyal Türü:	Thèse et Mémoire papier
Dil:	Français
Baskı/Yayın Bilgisi:	[S.l] : [s.n] 1985.
Konular:	Thèses et écrits académiques
Autres localisations:	Voir dans le Sudoc
Variante du titre:	DIAGNOSTIC AND MODELLING OF AN ARGON-HYDROGEN PLASMA CREATED BY H.F. INDUCTIVE DISCHARGE USED FOR THE SILICIUM ETCHING

Benzer Materyaller

Diagnostic d'un plasma d'argon fortement ionisé créé par décharge capillaire pour la production de rayonnement extrême-ultraviolet cohérent
Yazar:: Pons, Jérôme, 1976-
Baskı/Yayın Bilgisi: (2003)

Etude de l'interaction entre une particule de glace et un plasma d'argon
Yazar:: Pennaneac'h, Michel
Baskı/Yayın Bilgisi: (1975)

Caractérisation d'un jet de plasma d'argon laminaire : détermination des champs de températures par spectroscopies atomique et moléculaire et mesures de vitesses d'écoulement
Yazar:: Langlois-Bertrand, Emilie, 1985-
Baskı/Yayın Bilgisi: (2011)

DIAGNOSTIC ET MODELISATION DE LA DIFFUSION D'UN PLASMA D'ARGON DANS UN REACTEUR RADIOFREQUENCE A SOURCE HELICON
Yazar:: Charles, Christine
Baskı/Yayın Bilgisi: (1990)

Étude par dynamique moléculaire des processus en volume et en surface dans les décharges radio-fréquence d'argon-méthane
Yazar:: Otakandza Kandjani, Glenn, 1993-
Baskı/Yayın Bilgisi: (2023)

Le Perreux-sur-Marne – 30 quai d’Argonne
Yazar:: Allaoua, Élise, ve diğerleri
Baskı/Yayın Bilgisi: (2023)

Contribution à l'étude du rayonnement des plasmas d'argon faiblement ionisés : spectre de raies, rayonnement de recombinaison et bremsstrahlung electron-atome
Yazar:: Ranson, Pierre
Baskı/Yayın Bilgisi: (1978)

PYROLYSE DU METHANE ET DE L'ETHANE DANS UN PLASMA D'ARGON EN PRESENCE D'OXYGENE ET DE DIOXYDE DE CARBONE
Yazar:: Meguernes, Khélifa, 1951-
Baskı/Yayın Bilgisi: (1988)

Mécanismes physico-chimiques dans le procédé de gravure plasma du Silicium
Yazar:: Mellhaoui, Xavier, 1978-
Baskı/Yayın Bilgisi: (2006)

Mécanismes physico-chimiques dans le procédé de gravure plasma du Silicium
Yazar:: Mellhaoui, Xavier, 1978-
Baskı/Yayın Bilgisi: (2006)

Etude d'un plasma d'argon à fortes corrélations produit dans un arc sous haute pression
Yazar:: Glasser, Jean
Baskı/Yayın Bilgisi: (1981)

Etude de la phase initiale de croissance d'agrégats de silicium dans un plasma argon-silane : application à la croissance de couches minces de silicium nanostructurées
Yazar:: Huet, Stéphanie, 1973-
Baskı/Yayın Bilgisi: (2001)

Plasmas froids de décharge Applications et diagnostic
Baskı/Yayın Bilgisi: (1997)

Contribution à l'étude de colonnes de plasma d'argon dans un domaine étendu de températures (2000 k ; 14000 k)
Yazar:: Izarra, Charles de, 1961-
Baskı/Yayın Bilgisi: (1988)

Gravure profonde du silicium par le procédé cryogénique : application à la réalisation de trous traversants : optimisation du procédé, mécanismes réactionnels en phase gazeuse et interaction plasma/silicium
Yazar:: Tillocher, Thomas, 1980-
Baskı/Yayın Bilgisi: (2006)

Ionisation et émission X d'un jet puisé d'Argon irradié par des impulsions laser femtosecondes
Yazar:: C. Stenz, ve diğerleri
Baskı/Yayın Bilgisi: (2004)

Simulation numérique par méthode Monte Carlo de la gravure du silicium en plasma fluoré : étude du rôle de l'oxygène dans la passivation : comparaison avec des résultats expétimentaux
Yazar:: Marcos, Grégory
Baskı/Yayın Bilgisi: (2002)

Plasmas froids de décharge Propriétés électriques
Baskı/Yayın Bilgisi: (1998)

Logiciel Hikad : modéliser l'organisation atomique durant la croissance de HfO sur silicium
Baskı/Yayın Bilgisi: (2009)

Etude et optimisation du procédé STiGer de gravure profonde du silicium
Yazar:: Pichon-Balmadier, Laurianne
Baskı/Yayın Bilgisi: (2010)

Elaboration de masques nano poreux de polymères et gravure profonde du silicium
Yazar:: Vital, Alexane, 1990-
Baskı/Yayın Bilgisi: (2016)

Réacteur VUV à décharge interne pour le dépôt en couches minces de silicium amorphe, d'oxyde et de nitrure de silicium
Yazar:: C. Fuchs, ve diğerleri
Baskı/Yayın Bilgisi: (2004)

FORMATION DE PARTICULES DANS LES MELANGES ARGON SILANE EN DECHARGE RF BASSE PRESSION : DIAGNOSTICS IN SITU PAR METHODES LASER; CARACTERISATION ET MODELISATION DE PLASMAS POUDREUX
Yazar:: Blondeau, Jean-Philippe, 19..-
Baskı/Yayın Bilgisi: (1992)

Étude de la décharge électrique par induction dans les gaz rares
Yazar:: François Cabannes
Baskı/Yayın Bilgisi: (2017)

Étude de la cinétique réactionnelle de plasmas de post-décharge d'hélium-hydrogène à haute pression : diagnostics et modélisation
Yazar:: Motret, Olivier, 1957-
Baskı/Yayın Bilgisi: (1984)

ETUDE EXPERIMENTALE DE L'IONISATION OPTIQUE D'UN JET D'ARGON HAUTE PRESSION PAR UNE IMPULSION LASER FEMTOSECONDE INTENSE
Yazar:: Blasco, Frédéric, 19..-
Baskı/Yayın Bilgisi: (1997)

La terre sigillée moulée d'Argonne de la cave 183 de l'agglomération gallo-romaine des « Sarteaux » à Ville-sur-Lumes
Yazar:: Deru, Xavier, ve diğerleri
Baskı/Yayın Bilgisi: (2005)

Modélisation des plasmas produits par décharge électrique
Yazar:: I. Pérès, ve diğerleri
Baskı/Yayın Bilgisi: (2004)

Installer des infrastructures hydrogène utilisées pour l'industrie et la mobilité
Baskı/Yayın Bilgisi: (2022)

Etude de nouvelles voies de passivation non polymérisante pour la gravure profonde du silicium
Yazar:: Duluard, Corinne, 1982-
Baskı/Yayın Bilgisi: (2009)

Recuit et gravure induits par laser sur silicium : expériences et simulations numériques
Yazar:: B. Bourguignon, ve diğerleri
Baskı/Yayın Bilgisi: (1997)

Détection de NO dans la post-décharge d'un plasma de N
Yazar:: C. Lalo, ve diğerleri
Baskı/Yayın Bilgisi: (2004)

Étude de l'élargissement de pression des raies spectrales de l'argon dans une décharge microonde à haute pression : calcul AB initio des potentiels d'interaction du dimère Arb2s à moyenne portée
Yazar:: Moussounda, Paul-Sand, auteur d'une thèse de physique
Baskı/Yayın Bilgisi: (1985)

Bistatic HF Radar
Baskı/Yayın Bilgisi: (2021)

Modélisation et étude d'une décharge filamentaire à basse intensité et haute-pression dans l'argon
Yazar:: Savignon, Edouard, 1923-
Baskı/Yayın Bilgisi: (2007)

Modélisation et étude d'une décharge filamentaire à basse intensité et haute-pression dans l'argon
Yazar:: Savignon, Edouard, 1923-
Baskı/Yayın Bilgisi: (2010)

Etude des inductances actives intégrées en bande HF/UHF-L et leurs applications potentielles à la radioastronomie
Yazar:: Sy, Chérif Hamidou, 1985-
Baskı/Yayın Bilgisi: (2016)

Etude et contrôle de la phase initiale de formation de poudres nanométriques dans les plasmas froids, basse pression en dilutions Argon-Silane et Hydrogène-Silane
Yazar:: Jouanny, Marie Christine, 1976-
Baskı/Yayın Bilgisi: (2005)

Silicium.
Yazar:: Gmelin, Leopold, 1788-1853
Baskı/Yayın Bilgisi: (1959)

Clermont-en-Argonne.
Baskı/Yayın Bilgisi: (1975)

© 2021-2023 • Université d'Orléans, Service Commun de Documentation, 6 rue de Tours, 45072 Orléans cedex 2
+33(0) 2 38 41 71 84 • https://scd.univ-orleans.fr • Mentions légales