Diagnostics et modélisation d'un plasma d'argon-hydrogène créé par décharge H.F. inductive utilisée pour la gravure de silicium
MODELE THEORIQUE DE LA DECHARGE BASE SUR UNE FONCTION DE DISTRIBUTION DES ELECTRONS A DEUX COMPOSANTES: UNE PREMIERE PARTIE MAXWELLIENNE POUR TOUS LES PHENOMENES FAISANT INTERVENIR LES ELECTRONS APPARTENANT A LA GAMME D'ENERGIE SITUES AUX ENVIRONS DE 1 EV ET UNE DEUXIEME PARTIE COMPOSEE D'...
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| 1. Verfasser: | |
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| Format: | Thèse et Mémoire papier |
| Sprache: | Français |
| Veröffentlicht: |
[S.l] :
[s.n]
1985.
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| Schlagworte: | |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Variante du titre: | DIAGNOSTIC AND MODELLING OF AN ARGON-HYDROGEN PLASMA CREATED BY H.F. INDUCTIVE DISCHARGE USED FOR THE SILICIUM ETCHING |
| Zusammenfassung: | MODELE THEORIQUE DE LA DECHARGE BASE SUR UNE FONCTION DE DISTRIBUTION DES ELECTRONS A DEUX COMPOSANTES: UNE PREMIERE PARTIE MAXWELLIENNE POUR TOUS LES PHENOMENES FAISANT INTERVENIR LES ELECTRONS APPARTENANT A LA GAMME D'ENERGIE SITUES AUX ENVIRONS DE 1 EV ET UNE DEUXIEME PARTIE COMPOSEE D'ELECTRONS RAPIDES AUXQUELS ON A ATTRIBUE UNE ENERGIE DE 20 EV. LA PROPORTION D'ELECTRONS RAPIDES EST DE L'ORDRE DE 10%. DETERMINATION DU TAUX DE QUENCHING DES METASTABLES **(3)P::(2) DE L'ARGON PAR L'HYDROGENE ATOMIQUE DE L'ORDRE DE 7 10**(-9) CM**(3) S**(-1) A 2000**(O) K |
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| Beschreibung: | 1 vol. (172 p.) : ill ; 30 cm + errata. |