Étude par dynamique moléculaire des processus en volume et en surface dans les décharges radio-fréquence d'argon-méthane
Les plasmas réactifs à base d'hydrocarbures sont largement utilisés pour la synthèse de matériaux et la modification de surfaces mais de nombreux processus en volume et d'interaction avec les surfaces sont encore mal décrits. Ce travail a pour objectif de mettre en lumière certains de ces...
Salvato in:
| Autore principale: | |
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| Altri autori: | , , , , , , , |
| Natura: | Thèse numérique |
| Lingua: | Français |
| Pubblicazione: |
2023.
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| Soggetti: | |
| Accesso online: | Accès au texte intégral https://theses.univ-orleans.fr/public/2023ORLE1010_va.pdf http://www.theses.fr/2023ORLE1010/abes https://theses.hal.science/tel-04368951 |
| Nota: |
Titre provenant de l'écran-titre Ecole(s) Doctorale(s) : École doctorale Énergie, Matériaux, Sciences de la Terre et de l'Univers (Centre-Val de Loire ; 2012-....) Partenaire(s) de recherche : Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés. UMR 7344 (Orléans ; 2012-....) (Laboratoire) Autre(s) contribution(s) : Eva Kovacevic (Président du jury) ; Khaled Hassouni, Armelle Michau, Emilie Despiau-Pujo (Membre(s) du jury) ; Sylvain Picaud, Cécile Arnas (Rapporteur(s)) |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Variante du titre: | Molecular dynamics study of volume and surface processes in argon-methane radio frequency discharges |