Diagnostics et modélisation d'un plasma d'argon-hydrogène créé par décharge H.F. inductive utilisée pour la gravure de silicium
MODELE THEORIQUE DE LA DECHARGE BASE SUR UNE FONCTION DE DISTRIBUTION DES ELECTRONS A DEUX COMPOSANTES: UNE PREMIERE PARTIE MAXWELLIENNE POUR TOUS LES PHENOMENES FAISANT INTERVENIR LES ELECTRONS APPARTENANT A LA GAMME D'ENERGIE SITUES AUX ENVIRONS DE 1 EV ET UNE DEUXIEME PARTIE COMPOSEE D'...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
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| Médium: | Thèse et Mémoire papier |
| Jazyk: | Français |
| Vydáno: |
[S.l] :
[s.n]
1985.
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| Témata: | |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Variante du titre: | DIAGNOSTIC AND MODELLING OF AN ARGON-HYDROGEN PLASMA CREATED BY H.F. INDUCTIVE DISCHARGE USED FOR THE SILICIUM ETCHING |
Orléans - BU Sciences Technologies STAPS
| Umístění | Signatura | Type de prêt | Stav | |
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| Magasin | TS 19-1985-45 | Dostupné | ||
| Magasin | TS 19-1985-45 | Dostupné | ||
| Magasin | TS 19-1985-45 | Dostupné |