Diagnostics et modélisation d'un plasma d'argon-hydrogène créé par décharge H.F. inductive utilisée pour la gravure de silicium
MODELE THEORIQUE DE LA DECHARGE BASE SUR UNE FONCTION DE DISTRIBUTION DES ELECTRONS A DEUX COMPOSANTES: UNE PREMIERE PARTIE MAXWELLIENNE POUR TOUS LES PHENOMENES FAISANT INTERVENIR LES ELECTRONS APPARTENANT A LA GAMME D'ENERGIE SITUES AUX ENVIRONS DE 1 EV ET UNE DEUXIEME PARTIE COMPOSEE D'...
Wedi'i Gadw mewn:
| Prif Awdur: | |
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| Fformat: | Thèse et Mémoire papier |
| Iaith: | Français |
| Cyhoeddwyd: |
[S.l] :
[s.n]
1985.
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| Pynciau: | |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Variante du titre: | DIAGNOSTIC AND MODELLING OF AN ARGON-HYDROGEN PLASMA CREATED BY H.F. INDUCTIVE DISCHARGE USED FOR THE SILICIUM ETCHING |
| LEADER | 01779nam a22002417a 4500 | ||
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| 100 | 1 | |a Salah, Djamal, |c auteur d'une thèse de sciences. | |
| 240 | 1 | 0 | |a DIAGNOSTIC AND MODELLING OF AN ARGON-HYDROGEN PLASMA CREATED BY H.F. INDUCTIVE DISCHARGE USED FOR THE SILICIUM ETCHING |
| 245 | 1 | 0 | |a Diagnostics et modélisation d'un plasma d'argon-hydrogène créé par décharge H.F. inductive utilisée pour la gravure de silicium |c Djamal Salah. |
| 260 | |a [S.l] : |b [s.n], |c 1985. | ||
| 300 | |a 1 vol. (172 p.) : |b ill ; |c 30 cm + |e errata. | ||
| 502 | |a Thèse de 3e cycle Phys. des gaz et des plasmas Orléans : 1985 ; 382 | ||
| 520 | |a MODELE THEORIQUE DE LA DECHARGE BASE SUR UNE FONCTION DE DISTRIBUTION DES ELECTRONS A DEUX COMPOSANTES: UNE PREMIERE PARTIE MAXWELLIENNE POUR TOUS LES PHENOMENES FAISANT INTERVENIR LES ELECTRONS APPARTENANT A LA GAMME D'ENERGIE SITUES AUX ENVIRONS DE 1 EV ET UNE DEUXIEME PARTIE COMPOSEE D'ELECTRONS RAPIDES AUXQUELS ON A ATTRIBUE UNE ENERGIE DE 20 EV. LA PROPORTION D'ELECTRONS RAPIDES EST DE L'ORDRE DE 10%. DETERMINATION DU TAUX DE QUENCHING DES METASTABLES **(3)P::(2) DE L'ARGON PAR L'HYDROGENE ATOMIQUE DE L'ORDRE DE 7 10**(-9) CM**(3) S**(-1) A 2000**(O) K | ||
| 650 | |a Thèses et écrits académiques | ||
| 710 | 2 | |a Université d'Orléans. |4 dgg | |
| 997 | |0 195684 |1 Thèse et Mémoire papier |a Ressource papier |c 0/Orléans/ |c 1/Orléans/BU Sciences, Technologies, STAPS/ |z Orléans, BU Sciences, Technologies, STAPS, TS 19-1985-45 |z Orléans, BU Sciences, Technologies, STAPS, TS 19-1985-45 |z Orléans, BU Sciences, Technologies, STAPS, TS 19-1985-45 | ||
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