Mise au point, technologie et étude de dépôts en couche mince de nitrure de bore par plasma basse pression
Emploi des réactions gaz-gaz en vue de décomposer dans un plasma d'azote à basse pression du chlorure de bore pour obtenir des couches minces de nitrure de bore sur un support en acier inoxydable par réaction solide-gaz. Une approche théorique des phénomènes de diffusion dans le jet et une étud...
Tallennettuna:
| Päätekijä: | |
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| Muut tekijät: | |
| Aineistotyyppi: | Thèse et Mémoire papier |
| Kieli: | Français |
| Julkaistu: |
[S.l.] :
[s.n.]
1983.
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| Aiheet: | |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Variante du titre: | Perfecting, technology and study of low pression plasma thin film deposition of boron nitride |