Mise au point, technologie et étude de dépôts en couche mince de nitrure de bore par plasma basse pression
Emploi des réactions gaz-gaz en vue de décomposer dans un plasma d'azote à basse pression du chlorure de bore pour obtenir des couches minces de nitrure de bore sur un support en acier inoxydable par réaction solide-gaz. Une approche théorique des phénomènes de diffusion dans le jet et une étud...
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| Format: | Thèse et Mémoire papier |
| Langue: | Français |
| Publié: |
[S.l.] :
[s.n.]
1983.
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| Sujets: | |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Variante du titre: | Perfecting, technology and study of low pression plasma thin film deposition of boron nitride |
| Résumé: | Emploi des réactions gaz-gaz en vue de décomposer dans un plasma d'azote à basse pression du chlorure de bore pour obtenir des couches minces de nitrure de bore sur un support en acier inoxydable par réaction solide-gaz. Une approche théorique des phénomènes de diffusion dans le jet et une étude des couches limites dynamique et de concentrations ont montré que l'épaisseur de la couche était en bon accord avec l'expérience. |
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| Description matérielle: | [5]-52 p. ; 30 cm. |
| Bibliographie: | Bibliogr. p. 40 (13 Ref) |