Mise au point, technologie et étude de dépôts en couche mince de nitrure de bore par plasma basse pression
Emploi des réactions gaz-gaz en vue de décomposer dans un plasma d'azote à basse pression du chlorure de bore pour obtenir des couches minces de nitrure de bore sur un support en acier inoxydable par réaction solide-gaz. Une approche théorique des phénomènes de diffusion dans le jet et une étud...
Bewaard in:
| Hoofdauteur: | |
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| Andere auteurs: | |
| Formaat: | Thèse et Mémoire papier |
| Taal: | Français |
| Gepubliceerd in: |
[S.l.] :
[s.n.]
1983.
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| Onderwerpen: | |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Variante du titre: | Perfecting, technology and study of low pression plasma thin film deposition of boron nitride |
| LEADER | 01741nam a22002777a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 195550 | ||
| 008 | 990313s1983 xxe ||| |||| 00| 0 fre d | ||
| 009 | PPN043024521 | ||
| 041 | 0 | |a fre |b fre | |
| 084 | |a 001.D | ||
| 084 | |a 530 | ||
| 100 | 1 | |a Membrives, Joseph. | |
| 240 | 1 | 0 | |a Perfecting, technology and study of low pression plasma thin film deposition of boron nitride |
| 245 | 1 | 0 | |a Mise au point, technologie et étude de dépôts en couche mince de nitrure de bore par plasma basse pression |c Joseph Membrives ; [sous la dir. de Gérard Lassau]. |
| 260 | |a [S.l.] : |b [s.n.], |c 1983. | ||
| 300 | |a [5]-52 p. ; |c 30 cm. | ||
| 502 | |a Thèse de 3e cycle. Sciences appliquées. Mécanique et énergétique. Orléans. 1983 | ||
| 504 | |a Bibliogr. p. 40 (13 Ref) | ||
| 520 | |a Emploi des réactions gaz-gaz en vue de décomposer dans un plasma d'azote à basse pression du chlorure de bore pour obtenir des couches minces de nitrure de bore sur un support en acier inoxydable par réaction solide-gaz. Une approche théorique des phénomènes de diffusion dans le jet et une étude des couches limites dynamique et de concentrations ont montré que l'épaisseur de la couche était en bon accord avec l'expérience. | ||
| 650 | |a Couches minces | ||
| 650 | |a Plasmas (gaz ionisés) | ||
| 650 | |a Thèses et écrits académiques | ||
| 700 | 1 | |a Lassau, Gérard. |4 ths | |
| 710 | 2 | |a Université d'Orléans. |4 dgg | |
| 997 | |0 195550 |1 Thèse et Mémoire papier |a Ressource papier |c 0/Orléans/ |c 1/Orléans/BU Sciences, Technologies, STAPS/ |z Orléans, BU Sciences, Technologies, STAPS, TS 19-1983-17 |z Orléans, BU Sciences, Technologies, STAPS, TS 19-1983-17 |z Orléans, BU Sciences, Technologies, STAPS, TS 19-1983-17 | ||
| 999 | |5 452342104:039431029 |a ORLEANS | ||