Microelectronic Test Structures for CMOS Technology
Microelectronic Test Structures for CMOS Technology and Products addresses the basic concepts of the design of test structures for incorporation within test-vehicles, scribe-lines, and CMOS products. The role of test structures in the development and monitoring of CMOS technologies and products has...
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| Главные авторы: | , |
|---|---|
| Формат: | Livre numérique |
| Язык: | Anglais |
| Опубликовано: |
New York, NY :
Springer New York
2011.
Cham : Springer Nature |
| Online-ссылка: | Accès sur la plateforme de l'éditeur Accès sur la plateforme Istex Accès Université d'Orléans Accès INSA CVL |
| Примечание: |
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| Edition sous un autre format: | • Microelectronic Test Structures for CMOS Technology, Texte imprimé, 9781441993762 • Microelectronic Test Structures for CMOS Technology, Texte imprimé, 9781441993786 • Microelectronic Test Structures for CMOS Technology, Texte imprimé, 9781489990556 |
Оглавление:
- Introduction
- Test Structure Basics
- Resistors
- Capacitors
- MOSFETs
- Ring Oscillators
- High Speed Characterization
- Test Structures of SOI Technology
- Test Equipment and Measurements
- Data Analysis.