Introduction to Microsystem Design
The book describes the design of micro systems systematically as well as the equations needed for an estimation of the basic elements. It can be used without knowing fabrication processes of micro systems and provides the basic equations needed to calculate the effects and forces which are important...
Tallennettuna:
| Päätekijä: | |
|---|---|
| Aineistotyyppi: | Livre numérique |
| Kieli: | Anglais |
| Julkaistu: |
Berlin, Heidelberg :
Springer Berlin Heidelberg
2011.
Cham : Springer Nature |
| Sarja: | RWTHedition
1 |
| Linkit: | Accès sur la plateforme de l'éditeur Accès sur la plateforme Istex Accès Université d'Orléans Accès INSA CVL |
| Huomautus: |
Archives Springer e-books (Licence nationale) Archives Springer e-books (Licence nationale) |
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| Edition sous un autre format: | • Introduction to Microsystem Design, Texte imprimé, 9783642194887 • Introduction to Microsystem Design, Texte imprimé, 9783642268526 • Introduction to Microsystem Design, Texte imprimé, 9783642194900 |
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| 260 | |a Berlin, Heidelberg : |b Springer Berlin Heidelberg. | ||
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| 500 | |a Archives Springer e-books (Licence nationale) | ||
| 500 | |a Archives Springer e-books (Licence nationale) | ||
| 505 | 0 | |a Preface -- Notations and symbols -- Introduction -- Scaling Laws -- Elastic deformations -- Thin Films -- Conductor Paths -- Membranes -- Strain gauges on membranes -- Beams -- Vibrations -- Capillaries -- Capacitive forces -- Piezoelectric effect -- Thermal actuators -- Micro optics -- Diffusion -- Micro valves -- Micro pumps -- Micro dosing -- Analogies between physical domains -- Mechanical devices for electronics -- Pressure sensors -- Flow sensors -- Inertial sensors. | |
| 506 | |a Accès en ligne pour les établissements français bénéficiaires des licences nationales | ||
| 506 | |a Accès soumis à abonnement pour tout autre établissement | ||
| 506 | |a Conditions particulières de réutilisation pour les bénéficiaires des licences nationales. chttps://www.licencesnationales.fr/springer-nature-ebooks-contrat-licence-ln-2017 | ||
| 520 | |a The book describes the design of micro systems systematically as well as the equations needed for an estimation of the basic elements. It can be used without knowing fabrication processes of micro systems and provides the basic equations needed to calculate the effects and forces which are important in micro systems. For quick reference equations are presented in tables which are found in an index at the end of this book. | ||
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