Introduction to Microsystem Design
The book describes the design of micro systems systematically as well as the equations needed for an estimation of the basic elements. It can be used without knowing fabrication processes of micro systems and provides the basic equations needed to calculate the effects and forces which are important...
محفوظ في:
| المؤلف الرئيسي: | |
|---|---|
| التنسيق: | Livre numérique |
| اللغة: | Anglais |
| منشور في: |
Berlin, Heidelberg :
Springer Berlin Heidelberg
2011.
Cham : Springer Nature |
| سلاسل: | RWTHedition
1 |
| الوصول للمادة أونلاين: | Accès sur la plateforme de l'éditeur Accès sur la plateforme Istex Accès Université d'Orléans Accès INSA CVL |
| ملاحظة: |
Archives Springer e-books (Licence nationale) Archives Springer e-books (Licence nationale) |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Edition sous un autre format: | • Introduction to Microsystem Design, Texte imprimé, 9783642194887 • Introduction to Microsystem Design, Texte imprimé, 9783642268526 • Introduction to Microsystem Design, Texte imprimé, 9783642194900 |
| الملخص: | The book describes the design of micro systems systematically as well as the equations needed for an estimation of the basic elements. It can be used without knowing fabrication processes of micro systems and provides the basic equations needed to calculate the effects and forces which are important in micro systems. For quick reference equations are presented in tables which are found in an index at the end of this book. |
|---|---|
| وصف المادة: | Archives Springer e-books (Licence nationale) Archives Springer e-books (Licence nationale) |
| ردمك: | 9783642194894 |
| تدمد: | 1865-0902 |
| وصول: | Accès en ligne pour les établissements français bénéficiaires des licences nationales Accès soumis à abonnement pour tout autre établissement Conditions particulières de réutilisation pour les bénéficiaires des licences nationales. chttps://www.licencesnationales.fr/springer-nature-ebooks-contrat-licence-ln-2017 |