Introduction to Microsystem Design
The book describes the design of micro systems systematically as well as the equations needed for an estimation of the basic elements. It can be used without knowing fabrication processes of micro systems and provides the basic equations needed to calculate the effects and forces which are important...
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| Auteur principal: | |
|---|---|
| Format: | Livre numérique |
| Langue: | Anglais |
| Publié: |
Berlin, Heidelberg :
Springer Berlin Heidelberg
2011.
Cham : Springer Nature |
| Collection: | RWTHedition
1 |
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| Note: |
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| Edition sous un autre format: | • Introduction to Microsystem Design, Texte imprimé, 9783642194887 • Introduction to Microsystem Design, Texte imprimé, 9783642268526 • Introduction to Microsystem Design, Texte imprimé, 9783642194900 |