Caractérisation dimensionnelle et physicochimique de couches minces et multicouches diélectriques
LES DIFFERENTS ASPECTS DE CE TRAVAIL QUI CONCERNENT L'ETUDE DES MATERIAUX AL#2O#3, GEO#2 ET GE-PB-O SOUS FORME DE COUCHES MINCES (UNIQUES OU MULTIPLES) SONT: L'ELABORATION DES DEPOTS PAR LA TECHNIQUE DE PULVERISATION CATHODIQUE RF SIMPLE ET RF MAGNETRON, LA MESURE DE L'EPAISSEUR PAR I...
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| Format: | Thèse et Mémoire papier |
| Langue: | Français |
| Publié: |
[S.l.] :
[s.n.]
1993.
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| Sujets: | |
| Note: |
1993CLF21529 |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Variante du titre: | DIMENSIONAL AND PHYSICO-CHEMICAL CHARACTERISATION OF DIELECTRIC MONOLAYERS AND MULTILAYERS |