Caractérisation dimensionnelle et physicochimique de couches minces et multicouches diélectriques
LES DIFFERENTS ASPECTS DE CE TRAVAIL QUI CONCERNENT L'ETUDE DES MATERIAUX AL#2O#3, GEO#2 ET GE-PB-O SOUS FORME DE COUCHES MINCES (UNIQUES OU MULTIPLES) SONT: L'ELABORATION DES DEPOTS PAR LA TECHNIQUE DE PULVERISATION CATHODIQUE RF SIMPLE ET RF MAGNETRON, LA MESURE DE L'EPAISSEUR PAR I...
Enregistré dans:
| Hovedforfatter: | |
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| Andre forfattere: | |
| Format: | Thèse et Mémoire papier |
| Sprog: | Français |
| Udgivet: |
[S.l.] :
[s.n.]
1993.
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| Fag: | |
| Kommentar: |
1993CLF21529 |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Variante du titre: | DIMENSIONAL AND PHYSICO-CHEMICAL CHARACTERISATION OF DIELECTRIC MONOLAYERS AND MULTILAYERS |
Orléans - BU Sciences Technologies STAPS
| Sted | Klassifikationsnummer | Type de prêt | Status | |
|---|---|---|---|---|
| Magasin | TS7 1993 15 | Tilgængelig |