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| LEADER |
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|c 95 EUR
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| 024 |
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|a 9782746208186
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| 041 |
0 |
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|a fre
|f fre
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| 082 |
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|a 621.381
|
| 240 |
1 |
0 |
|a Systèmes microélectromécaniques 3D et intégration de matériaux actionneurs
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| 245 |
0 |
0 |
|a Techniques de fabrication des microsystèmes.
|n 2,
|p Systèmes microélectromécaniques 3D et intégration de matériaux actionneurs
|c sous la direction de Michel de Labachelerie.
|
| 260 |
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|
|a Paris :
|b Hermes science publ. :
|b Lavoisier,
|c DL 2004.
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| 300 |
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|a 1 vol. (330-IV p.) :
|b ill. ;
|c 25 cm.
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| 490 |
0 |
|
|a Traité EGEM : électronique - génie électrique - microsystèmes. Microsystèmes
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| 504 |
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|a Bibliogr. en fin de chap. Index
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| 650 |
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|a Micro-fabrication
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| 650 |
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|
|a Dispositifs à couches minces
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| 650 |
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|a Microtechniques
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| 650 |
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|a Systèmes microélectromécaniques
|
| 650 |
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|
|a Microélectronique
|x Industrie et commerce
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| 650 |
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|
|a Procédés de fabrication
|
| 650 |
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|
|a Micromécanique (ingénierie)
|
| 650 |
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|
|a Photolithographie
|
| 700 |
1 |
|
|a Labachelerie, Michel de,
|d 1959-
|4 pbd
|
| 776 |
0 |
|
|0 151094233
|t Techniques de fabrication des microsystèmes
|h 2
|i Systèmes microélectromécaniques 3D et intégration de matériaux actionneurs
|b Ressource électronique
|f sous la direction de Michel de Labachelerie
|c Paris
|n Hermes science
|n Lavoisier
|d [2011?]
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| 915 |
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|5 410182301:499067584
|a EVE-2909
|b 2240054768
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| 997 |
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|1 Livre papier
|a Ressource papier
|b INSA
|c 0/Blois/
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|
| 999 |
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|b EVCELEC
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