ELABORATION, CARACTERISATION ET PROPRIETES DIELECTRIQUES DE COUCHES MINCES D'OXYDES DE GERMANIUM GEOX ET GE-PB-O
LES DIFFERENTS ASPECTS DE CE TRAVAIL CONCERNENT L'ETUDE DES MATERIAUX GEO#X (X COMPRIS ENTRE 1,40 ET 2,05) ET GE-PB-O SOUS FORME DE COUCHES MINCES SONT: L'ELABORATION DES DEPOTS PAR LA TECHNIQUE DE PULVERISATION CATHODIQUE RF; L'ANALYSE DES MATERIAUX PAR SPECTROMETRIE RBS ET XRF; LEUR...
Enregistré dans:
| Hovedforfatter: | |
|---|---|
| Andre forfattere: | |
| Format: | Thèse et Mémoire papier |
| Sprog: | Français |
| Udgivet: |
[S.l.] :
[s.n.]
1992.
|
| Fag: | |
| Kommentar: |
1992CLF21392 |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Variante du titre: | ELABORATION, CHARACTERIZATION AND DIELECTRIC PROPERTIES OF GERMANIUM OXIDES GEOX AND GE-PB-O |
| LEADER | 02620nam a22002537a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 354030 | ||
| 008 | 990313s1992 xx|||||| |||| 00| 0 fre d | ||
| 009 | PPN044195885 | ||
| 041 | 0 | |a fre |b fre | |
| 084 | |a 001.B.80.A.15 | ||
| 084 | |a 530 | ||
| 100 | 1 | |a CAPERAA, CHRISTOPHE. | |
| 240 | 1 | 0 | |a ELABORATION, CHARACTERIZATION AND DIELECTRIC PROPERTIES OF GERMANIUM OXIDES GEOX AND GE-PB-O |
| 245 | 1 | 0 | |a ELABORATION, CARACTERISATION ET PROPRIETES DIELECTRIQUES DE COUCHES MINCES D'OXYDES DE GERMANIUM GEOX ET GE-PB-O |c CHRISTOPHE CAPERAA ; SOUS LA DIRECTION DE JEAN-PIERRE BESSE. |
| 260 | |a [S.l.] : |b [s.n.], |c 1992. | ||
| 500 | |a 1992CLF21392 | ||
| 502 | |a Thèse Doctorat. Physique. Clermont-Ferrand 2. 1992 | ||
| 504 | |a 81 REF | ||
| 520 | |a LES DIFFERENTS ASPECTS DE CE TRAVAIL CONCERNENT L'ETUDE DES MATERIAUX GEO#X (X COMPRIS ENTRE 1,40 ET 2,05) ET GE-PB-O SOUS FORME DE COUCHES MINCES SONT: L'ELABORATION DES DEPOTS PAR LA TECHNIQUE DE PULVERISATION CATHODIQUE RF; L'ANALYSE DES MATERIAUX PAR SPECTROMETRIE RBS ET XRF; LEUR CARACTERISATION STRUCTURALE PAR DIFFRACTION X, EXAFS ET SPECTROSCOPIE D'ABSORPTION INFRAROUGE; LA MESURE DE L'EPAISSEUR ET DE L'INDICE DE REFRACTION DES COUCHES MINCES PAR INTERFEROMETRIE AINSI QUE LA DETERMINATION DE LEUR MASSE VOLUMIQUE; L'ETUDE DES CARACTERISTIQUES DIELECTRIQUES DE CES DIFFERENTS MATERIAUX. L'ANALYSE DES DEPOTS A PERMIS DE DETERMINER LES CONDITIONS DE PULVERISATION FAVORABLES A L'OBTENTION DE COUCHES MINCES GEO#2 ET D'OXYDES MIXTES DE GERMANIUM ET DE PLOMB GEPB#XO#2#+#X CORRESPONDANT AUX DEGRES D'OXYDATION LES PLUS STABLES POUR GE ET PB. LES PRINCIPALES CARACTERISTIQUES DIELECTRIQUES DES OXYDES GEO#2 ET GEPB#XO#2#+#X (X COMPRIS ENTRE 0 ET 1,40) SOUS FORME DE COUCHES MINCES AMORPHES SONT MESUREES A BASSE FREQUENCE (0,5-100 KHZ) SUR L'INTERVALLE DE TEMPERATURE 20-70C. CE TRAVAIL MONTRE L'INTERET DES MATERIAUX ETUDIES POUR LA REALISATION DE CONDENSATION A FORTE CAPACITE SURFACIQUE ET A FAIBLES PERTES DIELECTRIQUES UTILISABLES DANS DES DISPOSITIFS ELECTRONIQUES MINIATURISES | ||
| 650 | |a Thèses et écrits académiques | ||
| 700 | 1 | |a Besse, Jean-Pierre, |d 1941-...., |c chimiste. |4 ths | |
| 710 | 2 | |a Université Blaise Pascal. |4 dgg | |
| 787 | 0 | 8 | |i Reproduced as: |0 246386444 |t ELABORATION, CARACTERISATION ET PROPRIETES DIELECTRIQUES DE COUCHES MINCES D'OXYDES DE GERMANIUM GEOX ET GE-PB-O |f CHRISTOPHE CAPERAA |c Grenoble |n Atelier national de reproduction des thèses |d 1992 |p Microfiches |s [Grenoble thèses] |
| 997 | |0 354030 |1 Thèse et Mémoire papier |a Ressource papier |c 0/Orléans/ |c 1/Orléans/BU Sciences, Technologies, STAPS/ |z Orléans, BU Sciences, Technologies, STAPS, TS 7-1992-39 | ||