ELABORATION, CARACTERISATION ET PROPRIETES DIELECTRIQUES DE COUCHES MINCES D'OXYDES DE GERMANIUM GEOX ET GE-PB-O
LES DIFFERENTS ASPECTS DE CE TRAVAIL CONCERNENT L'ETUDE DES MATERIAUX GEO#X (X COMPRIS ENTRE 1,40 ET 2,05) ET GE-PB-O SOUS FORME DE COUCHES MINCES SONT: L'ELABORATION DES DEPOTS PAR LA TECHNIQUE DE PULVERISATION CATHODIQUE RF; L'ANALYSE DES MATERIAUX PAR SPECTROMETRIE RBS ET XRF; LEUR...
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| Autore principale: | |
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| Altri autori: | |
| Natura: | Thèse et Mémoire papier |
| Lingua: | Français |
| Pubblicazione: |
[S.l.] :
[s.n.]
1992.
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| Soggetti: | |
| Nota: |
1992CLF21392 |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Variante du titre: | ELABORATION, CHARACTERIZATION AND DIELECTRIC PROPERTIES OF GERMANIUM OXIDES GEOX AND GE-PB-O |
| Riassunto: | LES DIFFERENTS ASPECTS DE CE TRAVAIL CONCERNENT L'ETUDE DES MATERIAUX GEO#X (X COMPRIS ENTRE 1,40 ET 2,05) ET GE-PB-O SOUS FORME DE COUCHES MINCES SONT: L'ELABORATION DES DEPOTS PAR LA TECHNIQUE DE PULVERISATION CATHODIQUE RF; L'ANALYSE DES MATERIAUX PAR SPECTROMETRIE RBS ET XRF; LEUR CARACTERISATION STRUCTURALE PAR DIFFRACTION X, EXAFS ET SPECTROSCOPIE D'ABSORPTION INFRAROUGE; LA MESURE DE L'EPAISSEUR ET DE L'INDICE DE REFRACTION DES COUCHES MINCES PAR INTERFEROMETRIE AINSI QUE LA DETERMINATION DE LEUR MASSE VOLUMIQUE; L'ETUDE DES CARACTERISTIQUES DIELECTRIQUES DE CES DIFFERENTS MATERIAUX. L'ANALYSE DES DEPOTS A PERMIS DE DETERMINER LES CONDITIONS DE PULVERISATION FAVORABLES A L'OBTENTION DE COUCHES MINCES GEO#2 ET D'OXYDES MIXTES DE GERMANIUM ET DE PLOMB GEPB#XO#2#+#X CORRESPONDANT AUX DEGRES D'OXYDATION LES PLUS STABLES POUR GE ET PB. LES PRINCIPALES CARACTERISTIQUES DIELECTRIQUES DES OXYDES GEO#2 ET GEPB#XO#2#+#X (X COMPRIS ENTRE 0 ET 1,40) SOUS FORME DE COUCHES MINCES AMORPHES SONT MESUREES A BASSE FREQUENCE (0,5-100 KHZ) SUR L'INTERVALLE DE TEMPERATURE 20-70C. CE TRAVAIL MONTRE L'INTERET DES MATERIAUX ETUDIES POUR LA REALISATION DE CONDENSATION A FORTE CAPACITE SURFACIQUE ET A FAIBLES PERTES DIELECTRIQUES UTILISABLES DANS DES DISPOSITIFS ELECTRONIQUES MINIATURISES |
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| Descrizione del documento: | 1992CLF21392 |
| Bibliografia: | 81 REF |