Diagnostics in-situ de plasmas C-H-O : modélisation cinétique, élaboration et caractérisation de couches minces de diamant et de nanopoudres
Ce travail a pour but d optimiser le procédé de dépôt de couches de diamant sur alliage de titane. Les principaux objectifs portent sur le contrôle du procédé, le contrôle des caractéristiques finales des films et les corrélations entre les deux. Une étude fondamentale de caractérisation des plasmas...
Gardado en:
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| Formato: | Thèse et Mémoire papier |
| Idioma: | Français |
| Publicado: |
[S.l.] :
[s.n.]
2008.
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| Sujets: | |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Variante du titre: | In-situ diagnoses of C-H-O plasmas :, kinetic modelling, elaboration and characterization of diamond thin films and nanopowders |