Optimisation de la croissance de couches minces de composés par ablation laser
Ce travail est consacré à l'optimisation de la croissance de couches minces par ablation laser afin d'éviter le dépôt de gouttelettes sur les films, inconvénient majeur de cette technique. Deux approches ont été envisagées, la première consiste dans l'utilisation d'impulsion lase...
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| Autor principal: | |
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| Altres autors: | , |
| Format: | Thèse et Mémoire papier |
| Idioma: | Français |
| Publicat: |
[S.l.] :
[s.n.]
2005.
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| Matèries: | |
| Nota: |
Publication autorisée par le jury |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Variante du titre: | Optimization of the growth of thin films of compounds by pulsed laser deposition |
| LEADER | 02969nam a22002897a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 233529 | ||
| 008 | 060929s2005 xxe ||| |||| 00| 0 fre d | ||
| 009 | PPN109188330 | ||
| 041 | 0 | |a fre |b fre |b eng | |
| 084 | |a 530 | ||
| 100 | 1 | |a Benzerga, Ratiba, |d 1976- | |
| 240 | 1 | 0 | |a Optimization of the growth of thin films of compounds by pulsed laser deposition |
| 245 | 1 | 0 | |a Optimisation de la croissance de couches minces de composés par ablation laser |c par Ratiba Benzerga ; [sous la dir. de] C. Boulmer-Leborgne,... [et] J. Perrière,... |
| 260 | |a [S.l.] : |b [s.n.], |c 2005. | ||
| 300 | |a 1 vol. (202 p.) : |b ill. ; |c 30 cm. | ||
| 500 | |a Publication autorisée par le jury | ||
| 502 | |a Thèse de doctorat. Sciences des matériaux. Orléans. 2005 | ||
| 504 | |a Bibliogr. p. 195-197 | ||
| 520 | |a Ce travail est consacré à l'optimisation de la croissance de couches minces par ablation laser afin d'éviter le dépôt de gouttelettes sur les films, inconvénient majeur de cette technique. Deux approches ont été envisagées, la première consiste dans l'utilisation d'impulsion laser de très courte durée (100 fs) afin d'éviter la formation du bain fondu à la surface des cibles et la seconde approche, la double ablation laser (ns), permet d'éviter "mécaniquement" le dépôt des gouttelettes émises par les cibles. L'étude a montré que l'éjection des gouttelettes peut se produire lors de l'ablation fs, et que les films ainsi déposés sont formés d'empilement de nanoparticules. La fluence laser et la taille de l'impact laser sur la cible apparaissent comme paramètres clés pour le contrôle de l'éjection des gouttelettes et/ou des nanoparticules. Une étude détaillée du plasma d'ablation et des films formés en fonction de ces deux paramètres a permis de mettre en place des hypothèses sur le mécanisme de formation des nanoparticules. La seconde approche a montré une forte diminution de la densité des gouttelettes. Des films d'AlN et de CuxOy avec une bonne qualité de surface, qualité cristalline et de bonne composition ont été obtenus. Aussi des films de TiC déposés à partir de l'ablation de deux cibles différentes (Ti et C) montrent la possibilité de mélange de deux plasmas différents grâce à cette technique. | ||
| 650 | |a Couches minces | ||
| 650 | |a Dépôt par laser pulsé | ||
| 650 | |a Thèses et écrits académiques | ||
| 700 | 1 | |a Boulmer-leborgne, Chantal. |4 ths | |
| 700 | 1 | |a Perrière, Jacques. |4 ths | |
| 710 | 2 | |a Université d'Orléans. |4 dgg | |
| 787 | 0 | 8 | |i Reproduced as: |0 246910887 |t Optimisation de la croissance de couches minces de composés par ablation laser |f par Ratiba Benzerga |c Lille |n Atelier national de reproduction des thèses |d 2005 |p Microfiches |s Lille-Thèses |
| 997 | |0 233529 |1 Thèse et Mémoire papier |a Ressource papier |c 0/Orléans/ |c 1/Orléans/BU Sciences, Technologies, STAPS/ |z Orléans, BU Sciences, Technologies, STAPS, TS 19-2005-65 |z Orléans, BU Sciences, Technologies, STAPS, TS 19-2005-65 b | ||