Etude et contrôle de la phase initiale de formation de poudres nanométriques dans les plasmas froids, basse pression en dilutions Argon-Silane et Hydrogène-Silane :: SCD d'Orléans

Etude et contrôle de la phase initiale de formation de poudres nanométriques dans les plasmas froids, basse pression en dilutions Argon-Silane et Hydrogène-Silane

Etude et contrôle de la phase initiale de formation de poudres nanométriques dans les plasmas froids, basse pression en dilutions Argon-Silane et Hydrogène-Silane

Les plasmas poussiéreux trouvent actuellement des applications dans la fabrication de nouveaux matériaux tel que le silicium polymorphe. Réalisé par PECVD en dilution Silane, ce matériau est constitué d'une matrice de silicium amorphe dans laquelle sont incrustées des nanocristallites de silici...

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Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter:	Jouanny, Marie Christine, 1976-
Andre forfattere:	Boufendi, Laïfa (Directeur de thèse)
Format:	Thèse et Mémoire papier
Sprog:	Français
Udgivet:	[S.l.] : [s.n.] 2005.
Fag:	Plasmas poussiéreux Poudres Silane > Dérivés Thèses et écrits académiques
Autres localisations:	Voir dans le Sudoc
Variante du titre:	Study and control of the first growth phase of nonometer sized particles in cold low-pressure argon-silane and hydrogen-silane plasmas

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