FORMATION DE PARTICULES DANS LES MELANGES ARGON SILANE EN DECHARGE RF BASSE PRESSION : DIAGNOSTICS IN SITU PAR METHODES LASER; CARACTERISATION ET MODELISATION DE PLASMAS POUDREUX
L'ETUDE DE LA FORMATION ET DU COMPORTEMENT DES PARTICULES DANS LES PLASMAS CONNAIT ACTUELLEMENT DES DEVELOPPEMENTS IMPORTANTS. L'APPARITION DE PARTICULES DANS LES PROCEDES PLASMAS CONSTITUE SOUVENT UN PHENOMENE DE POLLUTION. INVERSEMENT LES PLASMAS POUDREUX PEUVENT ETRE UTILISES POUR LA SY...
Uloženo v:
| Hlavní autor: | |
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| Další autoři: | |
| Médium: | Thèse et Mémoire papier |
| Jazyk: | Français |
| Vydáno: |
[S.l.] :
[s.n.]
1992.
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| Témata: | |
| Poznámka: |
1992ORLE2007 |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Variante du titre: | PARTICLE FORMATION IN ARGON SILANE MIXTURES IN A LOW PRESSURE RF DISCHARGE: IN SITU DIAGNOSTICS BY LASER METHODS; CHARACTERIZATION AND MODELLING OF DUSTY PLASMAS |