ORIGINE ET COMPORTEMENT D'UN NUAGE DENSE DE PARTICULES SUBMICRONIQUES DANS UNE DECHARGE : RADIOFREQUENCE EN MILIEU ARGON-SILANE BASSE PRESSION
CE TRAVAIL PORTE SUR DIFFERENTS ASPECTS DE PHYSIQUE ET DE PHYSICO-CHIMIE ASSOCIES A LA GENERATION DE POUDRES DANS LES DECHARGES RADIOFREQUENCES (RF) BASSE PRESSION EN MELANGE ARGON-SILANE. CE PHENOMENE CONSTITUE UNE SOURCE DE CONTAMINATION RECONNUE RECEMMENT COMME TRES CRITIQUE DANS LES PROCEDES DE...
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| 1. Verfasser: | |
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| Weitere Verfasser: | |
| Format: | Thèse et Mémoire papier |
| Sprache: | Français |
| Veröffentlicht: |
[S.l.] :
[s.n.]
1994.
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| Schlagworte: | |
| Anmerkung: |
1994ORLE2004 |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Variante du titre: | FORMATION AND BEHAVIOUR OF DENSE CLOUD OF NANOPARTICLES IN LOW PRESSURE ARGON-SILANE RADIOFREQUENCY DISCHARGE |
Orléans - BU Sciences Technologies STAPS
| Standort | Signatur | Type de prêt | Status | |
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| Magasin | TS 19-1994-4 b |
A consulter sur place
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| Magasin | TS 19-1994-4 | Verfügbar |