Conception des microsystèmes sur silicium

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Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter: Mir, Salvador
Format: Livre papier
Sprog:Français
Udgivet: Paris : Hermès Science Publ. : Lavoisier DL 2002.
Serier:EGEM : électronique - génie électrique - microsystèmes
Fag:
Autres localisations: Voir dans le Sudoc
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245 1 0 |a Conception des microsystèmes sur silicium   |c sous la direction de Salvador Mir. 
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300 |a 1 vol. (221 p.) :  |b ill. ;  |c 25 cm. 
490 0 |a EGEM : électronique - génie électrique - microsystèmes 
504 |a Bibliogr. en fin de chapitres. Index 
650 |a Microtechniques 
650 |a Microélectronique 
650 |a Silicium  |x Substrats 
997 |0 184557  |1 Livre papier  |a Ressource papier  |c 0/Orléans/  |c 1/Orléans/BU Sciences, Technologies, STAPS/  |z Orléans, BU Sciences, Technologies, STAPS, 621.381 CON