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| LEADER |
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| 001 |
184556 |
| 008 |
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| 009 |
PPN068750137 |
| 020 |
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|a 2746205076 (rel.)
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| 024 |
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|a 9782746205079
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| 041 |
0 |
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|a fre
|f fre
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| 082 |
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|a 621.3
|
| 100 |
1 |
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|a Mir, Salvador,
|d 19..-....,
|c auteur en électronique.
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| 245 |
1 |
0 |
|a Dispositifs et physique des microsystèmes sur silicium
|c sous la direction de Salvador Mir.
|
| 260 |
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|a Paris :
|b Hermès Science publ. :
|b Lavoisier,
|c DL 2002.
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| 300 |
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|a 1 volume (218 pages) :
|b illustrations ;
|c 25 cm.
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| 490 |
0 |
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|a EGEM : électronique - génie électrique - microsystèmes
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| 504 |
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|a Bibliographie en fin de chapitres. Index
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| 650 |
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|a Microtechniques
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| 650 |
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|a Microélectronique
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| 650 |
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|a Silicium
|x Substrats
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| 997 |
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|0 184556
|1 Livre papier
|a Ressource papier
|c 0/Orléans/
|c 1/Orléans/BU Sciences, Technologies, STAPS/
|z Orléans, BU Sciences, Technologies, STAPS, 621.381 DIS
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