Optimisation du procédé de thermomigration d'aluminium en phase liquide dans le silicium pour la réalisation de terminaisons de jonction de thyristors et de TRIACS

Optimisation du procédé de thermomigration d'aluminium en phase liquide dans le silicium pour la réalisation de terminaisons de jonction de thyristors et de TRIACS

Cette thèse vise à proposer une alternative industrielle à la réalisation de caissons d'isolation intégrés dans les composants de type thyristors / triacs en technologie dite Planar . Actuellement, une diffusion de bore pendant plusieurs centaines d'heures à environ 1300 ů permet la réalis...

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Hovedforfatter: Audebert, Amélie, 1997
Andre forfattere: Gautier, Gaël, 1976- (Directeur de thèse, Membre du jury), Planson, Dominique, 1965- (Membre du jury), Pichon, Laurent, 19..-...., physicien (Membre du jury), Morancho, Frédéric, 19..- (Membre du jury), Le Borgne, Brice, 1989- (Membre du jury), Morillon, Benjamin, 1975-..., docteur-ingénieur (Membre du jury)
Format: Thèse numérique
Sprog:Français
Udgivet: 2025.
Fag:
Thèses et écrits académiques
Kommentar: Titre provenant de l'écran-titre
Ecole(s) Doctorale(s) : Energie, Matériaux, Sciences de la Terre et de l'Univers - EMSTU
Partenaire(s) de recherche : Groupe de recherche en Matériaux, Microélectronique, Acoustique et Nanotechnologies (Laboratoire), GREMAN (matériaux- microélectronique- acoustique et nanotechnologies) / GREMAN (Laboratoire)
Autre(s) contribution(s) : Dominique Planson (Président du jury) ; Gaël Gautier, Dominique Planson, Laurent Pichon, Frédéric Morancho, Brice Le Borgne, Benjamin Morillon (Membre(s) du jury) ; Laurent Pichon, Frédéric Morancho (Rapporteur(s))
Autres localisations: Voir dans le Sudoc
Variante du titre:Optimization of liquid-state aluminium thermomigration in silicon for the realization of thyristor and TRIACS

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