Optimisation du procédé de thermomigration d'aluminium en phase liquide dans le silicium pour la réalisation de terminaisons de jonction de thyristors et de TRIACS
Cette thèse vise à proposer une alternative industrielle à la réalisation de caissons d'isolation intégrés dans les composants de type thyristors / triacs en technologie dite Planar . Actuellement, une diffusion de bore pendant plusieurs centaines d'heures à environ 1300 ů permet la réalis...
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| المؤلف الرئيسي: | |
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| مؤلفون آخرون: | , , , , , |
| التنسيق: | Thèse numérique |
| اللغة: | Français |
| منشور في: |
2025.
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| الموضوعات: | |
| ملاحظة: |
Titre provenant de l'écran-titre Ecole(s) Doctorale(s) : Energie, Matériaux, Sciences de la Terre et de l'Univers - EMSTU Partenaire(s) de recherche : Groupe de recherche en Matériaux, Microélectronique, Acoustique et Nanotechnologies (Laboratoire), GREMAN (matériaux- microélectronique- acoustique et nanotechnologies) / GREMAN (Laboratoire) Autre(s) contribution(s) : Dominique Planson (Président du jury) ; Gaël Gautier, Dominique Planson, Laurent Pichon, Frédéric Morancho, Brice Le Borgne, Benjamin Morillon (Membre(s) du jury) ; Laurent Pichon, Frédéric Morancho (Rapporteur(s)) |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| Variante du titre: | Optimization of liquid-state aluminium thermomigration in silicon for the realization of thyristor and TRIACS |