Materials science in semiconductor processing

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Bibliografski detalji
Autor kompanije: Elsevier. Pergamon (Voditelj izdanja)
Daljnji autori: Zaima, S. (Urednik)
Format: Revue numérique
Jezik:Anglais
Izdano: Oxford : Elsevier Ltd 200.-.
Teme:
Online pristup:Accès sur la plateforme de l'éditeur : Elsevier
Accès sur la plateforme ISTEX : Elsevier
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Elsevier (Licence nationale)
Elsevier (Licence nationale)
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Type of computer file: Articles en texte intégral au format html ou pdf
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État de collection: Revue électronique, (1998) - (2001)180339901, (1998) - (2001)
Edition sous un autre format:• Materials science in semiconductor processing, 1369-8001
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