Materials science in semiconductor processing
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| Weitere Verfasser: | |
| Format: | Revue numérique |
| Sprache: | Anglais |
| Veröffentlicht: |
Oxford :
Elsevier Ltd
200.-.
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| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | Accès sur la plateforme de l'éditeur : Elsevier Accès sur la plateforme ISTEX : Elsevier Accès Université d'Orléans et IFPM Accès INSA CVL |
| Anmerkung: |
Titre provenant de l'écran-titre Articles mis en ligne par ScienceDirect Elsevier (Licence nationale) Elsevier (Licence nationale) The Keepers Registry Type of computer file: Articles en texte intégral au format html ou pdf |
| Autres localisations: | Voir dans le Sudoc |
| État de collection: | Revue électronique, (1998) - (2001)180339901, (1998) - (2001) |
| Edition sous un autre format: | • Materials science in semiconductor processing, 1369-8001 |