Nanofabrication : Techniques and Principles
Intended to update scientists and engineers on the current state of the art in a variety of key techniques used extensively in the fabrication of structures at the nanoscale. The present work covers the essential technologies for creating sub 25 nm features lithographically, depositing layers with n...
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| Autres auteurs: | , |
|---|---|
| Format: | Livre numérique |
| Langue: | Anglais |
| Publié: |
Vienna :
Springer Vienna
2012.
Cham : Springer Nature |
| Accès en ligne: | Accès sur la plateforme de l'éditeur Accès sur la plateforme Istex Accès Université d'Orléans Accès INSA CVL |
| Note: |
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| Edition sous un autre format: | • Nanofabrication, Texte imprimé, 9783709104231 |