Integrated Modeling of Chemical Mechanical Planarization for Sub-Micron IC Fabrication : From Particle Scale to Feature, Die and Wafer Scales
Uloženo v:
| Hlavní autoři: | , |
|---|---|
| Médium: | Livre numérique |
| Jazyk: | Anglais |
| Vydáno: |
Cham :
Springer International Publishing
[20..].
Cham : Springer Nature |
| On-line přístup: | Accès sur la plateforme de l'éditeur Accès sur la plateforme Istex Accès Université d'Orléans Accès INSA CVL |
| Poznámka: |
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| Edition sous un autre format: | • Integrated Modeling of Chemical Mechanical Planarization for Sub-Micron IC Fabrication, From Particle Scale to Feature, Die and Wafer Scales |
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| 506 | |a Accès en ligne pour les établissements français bénéficiaires des licences nationales | ||
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